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检验设备
利用磁偏转原理制成的、对示漏气体氦反应灵敏的、用于检漏的质谱仪。
用氦气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦起反应的工作状态）的被检容器上，m310725若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
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